Der Linear-Drehaktuator (auch als ZR-Aktuator bezeichnet) ist ein hochintegriertes zweidimensionales Bewegungsmodul, das lineare Hubbewegung (Z-axis) und 360°-Drehfunktion (R-axis) kombiniert. Er verwendet einen Linearmotor für präzise lineare Bewegung und einen Servomotor für die Drehbewegung. Durch die Kombination der beiden Achsen kann er synchronisierte Verbundbewegungen wie Heben, Drehen und Winkelkalibrierung ausführen. Er ist ideal für hochpräzise Anwendungen wie die Platzierung von Halbleiterchips und die Präzisionsmontage.